Нанопечатная литография

Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Схема нанопечатной литографии (остатки резиста на вдавленных участках анизотропно вытравливаются):
1) подложка,
2) резист,
3) штамп.

Нанопечатная литография (

травлением деформированного покрытия и формированием на подложке наноструктуры
или элементов электронной схемы.

Описание

В нанопечатной литографии изображение образуется за счёт механической деформации полимерного покрытия (резиста) пресс-формой (

нм
на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.

См. также

Литература

  • Гусев А. И.: Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. — М., Наука-Физматлит, 2007. —416 с.
  • Кобаяси Н.: Введение в нанотехнологию. — М.: Бином, 2007. —134 с.

Ссылки