Нанопечатная литография

1) подложка,
2) резист,
3) штамп.
Нанопечатная литография (
травлением деформированного покрытия и формированием на подложке наноструктуры
или элементов электронной схемы.
Описание
В нанопечатной литографии изображение образуется за счёт механической деформации полимерного покрытия (резиста) пресс-формой (
нм
на достаточно больших площадях, что недоступно для всех других методов литографии.
См. также
Литература
- Гусев А. И.: Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. — М., Наука-Физматлит, 2007. —416 с.
- Кобаяси Н.: Введение в нанотехнологию. — М.: Бином, 2007. —134 с.
Ссылки
Это заготовка статьи о нанотехнологиях. Помогите Википедии, дополнив её. |