Полупроводник
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/2/23/Monokristalines_Silizium_f%C3%BCr_die_Waferherstellung.jpg/125px-Monokristalines_Silizium_f%C3%BCr_die_Waferherstellung.jpg)
Полупроводни́к —
Полупроводниками являются кристаллические вещества,
Атом другого химического элемента в чистой кристаллической решётке (например,
История
В
В 1820—1900 годы, большой вклад в исследование различных свойств кристаллов внесла
Механизм электрической проводимости
Полупроводники характеризуются свойствами как проводников, так и диэлектриков. В полупроводниковых кристаллах атомы устанавливают ковалентные связи (то есть, один электрон в кристалле кремния связан двумя атомами) и электронам необходим уровень внутренней энергии для высвобождения из атома (1,76⋅10−19 Дж против 11,2⋅10−19 Дж, чем и характеризуется отличие между полупроводниками и диэлектриками). Эта энергия появляется в них при повышении температуры (например, при комнатной температуре уровень энергии теплового движения атомов равняется 0,04⋅10−19 Дж), и отдельные электроны получают энергию для отрыва от ядра. С ростом температуры число свободных электронов и дырок увеличивается, поэтому в полупроводнике, не содержащем примесей, удельное электрическое сопротивление уменьшается. Условно принято считать полупроводниками элементы с энергией связи электронов меньшей, чем 1,5—2 эВ. Электронно-дырочный механизм проводимости проявляется у собственных (то есть без примесей) полупроводников. Он называется собственной электрической проводимостью полупроводников.
Свободное место в электронной оболочке атома
Во время разрыва связи между электроном и ядром появляется свободное место в электронной оболочке атома. Это обуславливает переход электрона с другого атома на атом со свободным местом. На атом, откуда перешёл электрон, входит другой электрон из другого атома и т. д. Этот процесс обуславливается ковалентными связями атомов. Таким образом, происходит перемещение положительного заряда без перемещения самого атома. Этот условный положительный заряд называют дыркой.
Обычно подвижность дырок в полупроводнике ниже подвижности электронов.
Энергетические зоны
Между зоной проводимости Еп и валентной зоной Ев расположена
Подвижность
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/3/38/Electron_and_Hole_Mobiility_in_Si-ru.svg/220px-Electron_and_Hole_Mobiility_in_Si-ru.svg.png)
Подвижностью называют коэффициент пропорциональности между дрейфовой скоростью носителей тока и величиной приложенного электрического поля
При этом, вообще говоря, в анизотропных кристаллах подвижность является тензором с компонентами
Подвижность
Размерность подвижности — м²/(В·с) в СИ или см/(В·с)в системе СГС.
Собственная проводимость
При термодинамическом равновесии концентрация электронов полупроводника связана с температурой следующим соотношением:
где:
- — постоянная Планка;
- — масса электрона;
- — абсолютная температура;
- — уровень зоны проводимости;
- — уровень Ферми.
Также, концентрация дырок полупроводника связана с температурой следующим соотношением:
где:
- — постоянная Планка.
- — эффективная масса дырки;
- — абсолютная температура;
- — уровень Ферми;
- — уровень валентной зоны.
Собственная концентрация связана с и следующим соотношением:
Виды полупроводников
По характеру проводимости
Собственная проводимость
Полупроводники, в которых свободные электроны и «дырки» появляются в процессе
Проводимость связана с подвижностью частиц следующим соотношением:
где — удельное сопротивление, —
Для собственного полупроводника концентрации носителей совпадают, и формула принимает вид:
Примесная проводимость
Для создания полупроводниковых приборов часто используют кристаллы с примесной проводимостью. Такие кристаллы изготавливаются с помощью внесения примесей с атомами трехвалентного или пятивалентного химического элемента.
По виду проводимости
Электронные полупроводники (n-типа)
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/9/92/N_type_semiconductor.png)
Термин «n-тип» происходит от слова «negative», обозначающего отрицательный заряд основных носителей. Этот вид полупроводников имеет примесную природу. В четырёхвалентный полупроводник (например, кремний) добавляют примесь пятивалентного полупроводника (например, мышьяка). В процессе взаимодействия каждый атом примеси вступает в ковалентную связь с атомами кремния. Однако для пятого электрона атома мышьяка нет места в насыщенных валентных связях, и он переходит на дальнюю электронную оболочку. Там для отрыва электрона от атома нужно меньшее количество энергии. Электрон отрывается и превращается в свободный. В данном случае перенос заряда осуществляется электроном, а не дыркой, то есть данный вид полупроводников проводит электрический ток подобно металлам. Примеси, которые добавляют в полупроводники, вследствие чего они превращаются в полупроводники n-типа, называются донорными.
Проводимость N-полупроводников приблизительно равна:
Дырочные полупроводники (р-типа)
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/5/54/P_type_semiconductor.png)
Термин «p-тип» происходит от слова «positive», обозначающего положительный заряд основных носителей. Этот вид полупроводников, кроме примесной основы, характеризуется дырочной природой проводимости. В четырёхвалентный полупроводник (например, в кремний) добавляют небольшое количество атомов трехвалентного элемента (например, индия). Каждый атом примеси устанавливает ковалентную связь с тремя соседними атомами кремния. Для установки связи с четвёртым атомом кремния у атома индия нет валентного электрона, поэтому он захватывает валентный электрон из ковалентной связи между соседними атомами кремния и становится отрицательно заряженным ионом, вследствие чего образуется дырка. Примеси, которые добавляют в этом случае, называются акцепторными.
Проводимость p-полупроводников приблизительно равна:
Использование в радиотехнике
Полупроводниковый диод
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/9/90/PN_diode_with_electrical_symbol-ru.svg/250px-PN_diode_with_electrical_symbol-ru.svg.png)
Полупроводниковый диод состоит из двух типов полупроводников — дырочного и электронного. В процессе контакта между этими областями из области с полупроводником n-типа в область с полупроводником p-типа проходят электроны, которые затем рекомбинируют с дырками. Вследствие этого возникает электрическое поле между двумя областями, что устанавливает предел деления полупроводников — так называемый p-n переход. В результате в области с полупроводником p-типа возникает некомпенсированный заряд из отрицательных ионов, а в области с полупроводником n-типа возникает некомпенсированный заряд из положительных ионов. Разница между потенциалами достигает 0,3-0,6 В.
Связь между разницей потенциалов и концентрацией примесей выражается следующей формулой:
где — термодинамическое напряжение, — концентрация электронов, — концентрация дырок, — собственная концентрация[4].
В процессе подачи напряжения плюсом на p-полупроводник и минусом на n-полупроводник внешнее электрическое поле будет направлено против внутреннего электрического поля p-n перехода и при достаточном напряжении электроны преодолеют p-n переход, и в цепи диода появится электрический ток (прямая проводимость, диод пропускает максимальный электрический ток). При подаче напряжения минусом на область с полупроводником p-типа и плюсом на область с полупроводником n-типа между двумя областями возникает область, которая не имеет свободных носителей электрического тока (обратная проводимость, диод сопротивляется пропусканию электрического тока). Обратный ток полупроводникового диода близок к нулю, но не равен нулю, так как в обеих областях всегда есть неосновные носители заряда. Для этих носителей p-n переход будет открыт.
Таким образом, p-n переход проявляет свойства односторонней проводимости, что обуславливается подачей напряжения с различной полярностью. Это свойство используют для выпрямления переменного тока.
Транзистор
![](http://upload.wikimedia.org/wikipedia/commons/thumb/b/b8/%D0%A1%D1%82%D1%80%D1%83%D0%BA%D1%82%D1%83%D1%80%D0%B0_NPN_%D1%82%D1%80%D0%B0%D0%BD%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B0_%D0%B8_%D0%B5%D0%B3%D0%BE_%D1%82%D0%BE%D0%BA%D0%B8.svg/250px-%D0%A1%D1%82%D1%80%D1%83%D0%BA%D1%82%D1%83%D1%80%D0%B0_NPN_%D1%82%D1%80%D0%B0%D0%BD%D0%B7%D0%B8%D1%81%D1%82%D0%BE%D1%80%D0%B0_%D0%B8_%D0%B5%D0%B3%D0%BE_%D1%82%D0%BE%D0%BA%D0%B8.svg.png)
Транзистор — полупроводниковое устройство, которое состоит из двух областей с полупроводниками p- или n-типа, между которыми находится область с полупроводником n- или p-типа. Таким образом, в транзисторе есть две области p-n перехода.
Типы полупроводников в периодической системе элементов
В нижеследующей таблице представлена информация о большом количестве полупроводниковых элементов и их соединений, разделённых на несколько типов:
- одноэлементные полупроводники IV группы периодической системы элементов,
- сложные: двухэлементные AIIIBV и AIIBVI из третьей и пятой группы и из второй и шестой группы элементов соответственно.
Все типы полупроводников обладают интересной зависимостью ширины запрещённой зоны от периода, а именно — с увеличением периода ширина запрещённой зоны уменьшается.
Группа | IIB | IIIA | IVA | VA | VIA |
Период | |||||
2 | 5 B | 6 C | 7 N | ||
3 | 13 Al | 14 Si | 15 P | 16 S | |
4 | 30 Zn | 31 Ga | 32 Ge | 33 As | 34 Se |
5 | 48 Cd | 49 In | 50 Sn | 51 Sb | 52 Te |
6 | 80 Hg |
Физические явления в полупроводниках
Физические свойства полупроводников наиболее изучены по сравнению с
Основным стимулом для изучения полупроводниковых материалов является производство полупроводниковых приборов и интегральных микросхем — это в первую очередь относится к кремнию, но затрагивает и другие полупроводниковые материалы (Ge, GaAs, InP, InSb).
Кремний —
Легирование
Электрические свойства полупроводника могут сильно зависеть от дефектов в кристаллической структуре. Поэтому стремятся использовать очень чистые вещества, в основном, для электронной промышленности.
Легирующие примеси вводят для управления величиной и типом проводимости полупроводника. Например, широко применяемый
Методы получения
Свойства полупроводников зависят от способа получения, так как различные примеси в процессе роста могут изменить их. Наиболее дешёвый способ промышленного получения монокристаллического технологического кремния —
Для получения монокристаллов полупроводников используют различные методы физического и химического осаждения. Наиболее прецизионный и дорогой инструмент в руках технологов для роста монокристаллических плёнок — установки
Оптика полупроводников
Поглощение света полупроводниками обусловлено переходами между энергетическими состояниями зонной структуры. Учитывая
Дополнительные ограничения на поглощение света полупроводников накладывают правила отбора, в частности закон сохранения импульса. Закон сохранения импульса требует, чтобы квазиимпульс конечного состояния отличался от квазиимпульса начального состояния на величину импульса поглощённого фотона. Волновое число фотона , где — длина волны, очень мало по сравнению с волновым вектором обратной решётки полупроводника, или, что то же самое, длина волны фотона в видимой области намного больше характерного межатомного расстояния в полупроводнике, что приводит к требованию того, чтобы квазиимпульс конечного состояния при электронном переходе практически равнялся квазиимпульсу начального состояния. При частотах, близких к фундаментальному краю поглощения, это возможно только для прямозонных полупроводников. Оптические переходы в полупроводниках, при которых импульс электрона почти не меняется называются прямыми или вертикальными. Импульс конечного состояния может значительно отличаться от импульса начального состояния, если в процессе поглощения фотона участвует ещё одна, третья частица, например, фонон. Такие переходы тоже возможны, хотя и менее вероятны. Они называются непрямыми переходами.
Таким образом, прямозонные полупроводники, такие как арсенид галлия, начинают сильно поглощать свет, когда энергия кванта превышает ширину запрещённой зоны. Такие полупроводники очень удобны для использования в оптоэлектронике.
Непрямозонные полупроводники, например, кремний, поглощают в области частот света с энергией кванта чуть больше ширины запрещённой зоны значительно слабее, только благодаря непрямым переходам, интенсивность которых зависит от присутствия фононов, и следовательно, от температуры. Граничная частота прямых переходов кремния больше 3 эВ, то есть лежит в ультрафиолетовой области спектра.
При переходе электрона из валентной зоны в зону проводимости в полупроводнике возникают свободные носители заряда, а следовательно фотопроводимость.
При частотах ниже края фундаментального поглощения также возможно поглощение света, которое связано с возбуждением
Список полупроводников
Полупроводниковые соединения делят на несколько типов:
- простые полупроводниковые материалы — собственно химические элементы: бор B, углерод C, германий Ge, кремний Si, селен Se, сера S, сурьма Sb, теллур Te и йод I. Самостоятельное применение широко нашли германий, кремний и селен. Остальные чаще всего применяются в качестве легирующих добавок или в качестве компонентов сложных полупроводниковых материалов;
- в группу сложных полупроводниковых материалов входят химические соединения из двух, трёх и более химических элементов. Полупроводниковые материалы из двух элементов называют бинарными, и так же, как это принято в химии, имеют наименование того компонента, металлические свойства которого выражены слабее. Так, бинарные соединения, содержащие мышьяк, называют арсенидами, серу — сульфидами, теллур — теллуридами, углерод — карбидами. Сложные полупроводниковые материалы объединяют по номеру группы Периодической системы элементов Д. И. Менделеева, к которой принадлежат компоненты соединения, и обозначают буквами латинского алфавита (A — первый элемент, B — второй и т. д.). Например, бинарное соединение фосфид индия InP имеет обозначение AIIIBV
Широкое применение получили следующие соединения:
- AIIIBV
- InSb, InAs, InP, GaSb, GaP, AlSb, GaN, InN
- AIIBV
- CdSb, ZnSb
- AIIBVI
- ZnS, ZnSe, ZnTe, CdS, CdTe, HgSe, HgTe, HgS
- AIVBVI
- PbS, PbSe, PbTe, SnTe, SnS, SnSe, GeS, GeSe
а также некоторые окислы свинца, олова, германия, кремния. Помимо окислов используются феррит, аморфные стёкла и многие другие соединения.(AIBIIIC2VI, AIBVC2VI, AIIBIVC2V, AIIB2IIC4VI, AIIBIVC3VI).
На основе большинства из приведённых бинарных соединений возможно получение их твёрдых растворов: (CdTe)x(HgTe)1-x, (HgTe)x(HgSe)1-x, (PbTe)x(SnTe)1-x, (PbSe)x(SnSe)1-x и других.
Соединения AIIIBV, в основном, применяются для изделий электронной техники, работающих на сверхвысоких частотах.
Соединения AIIBV используют в качестве люминофоров видимой области, светодиодов, датчиков Холла, модуляторов.
Соединения AIIIBV, AIIBVI и AIVBVI применяют при изготовлении источников и приёмников света, индикаторов и модуляторов излучений.
Окисные полупроводниковые соединения применяют для изготовления фотоэлементов, выпрямителей и сердечников высокочастотных индуктивностей.
Параметры | AlSb | GaSb | InSb | AlAs | GaAs | InAs |
---|---|---|---|---|---|---|
Температура плавления, К | 1333 | 998 | 798 | 1873 | 1553 | 1218 |
Постоянная решётки, Å | 6,14 | 6,09 | 6,47 | 5,66 | 5,69 | 6,06 |
Ширина запрещённой зоны ΔE, эВ | 0,52 | 0,7 | 0,18 | 2,2 | 1,41 | 0,35 |
Диэлектрическая проницаемость ε | 8,4 | 14,0 | 15,9 | — | — | — |
Подвижность, см²/(В·с): | ||||||
электронов | 50 | 5000 | 60 000 | — | 4000 | 34000[5] |
дырок | 150 | 1000 | 4000 | — | 400 | 460[5] |
Показатель преломления света, n | 3,0 | 3,7 | 4,1 | — | 3,2 | 3,2 |
Линейный коэффициент теплового расширения, K-1 |
— | 6,9·10-6 | 5,5·10-6 | 5,7·10-6 | 5,3·10-6 | — |
Группа IV
- собственные полупроводники
- Кремний — Si
- Германий — Ge
- Серое олово — α-Sn
- составной полупроводник
- Карбид кремния — SiC
- Кремний-германий — SiGe
Группа III-V
- 2-компонентные полупроводники
- Антимонид алюминия — AlSb
- Арсенид алюминия — AlAs
- Нитрид алюминия — AlN
- Фосфид алюминия — AlP
- Нитрид бора — BN
- Фосфид бора — BP
- Арсенид бора — BAs
- Антимонид галлия — GaSb
- Арсенид галлия — GaAs
- Нитрид галлия — GaN
- Фосфид галлия — GaP
- Антимонид индия — InSb
- Арсенид индия — InAs
- Нитрид индия — InN
- Фосфид индия — InP
- 3-компонентные полупроводники
- 4-компонентные полупроводники
- 5-компонентные полупроводники
Группа II-VI
- 2-компонентные полупроводники
- Селенид кадмия — CdSe
- Сульфид кадмия — CdS
- Теллурид кадмия — CdTe
- Теллурид платины — PtTe
- Оксид цинка — ZnO
- Селенид цинка — ZnSe
- Сульфид цинка — ZnS
- Теллурид цинка — ZnTe
- Теллурид свинца — PbTe
- 3-компонентные полупроводники
Группа I-VII
- 2-компонентные полупроводники
Группа IV-VI
- 2-компонентные полупроводники
- Селенид свинца, PbSe
- PbS
- PbTe
- SnS
- Теллурид олова, SnTe
- 3-компонентные полупроводники
- PbSnTe
- Tl2SnTe5
- Tl2GeTe5
Группа V-VI
- 2-компонентные полупроводники
- Теллурид висмута, Bi2Te3
Группа II—V
- 2-компонентные полупроводники
- Фосфид кадмия, Cd3P2
- Арсенид кадмия, Cd3As2
- Антимонид кадмия, Cd3Sb2
- Фосфид цинка, Zn3P2
- Арсенид цинка, Zn3As2
- Антимонид цинка, Zn3Sb2
Другие
- CuInGaSe
- Силицид платины, PtSi
- Иодид висмута(III), BiI3
- Иодид ртути(II), HgI2
- Бромид таллия(I), TlBr
- Иодид меди(II), CuI2
- Дисульфид молибдена, MoS2
- Селенид галлия, GaSe
- SnS
- Сульфид висмута, Bi2S3
- Разные оксиды
- Диоксид титана, TiO2
- Оксид меди(I), Cu2O
- CuO
- Диоксид урана, UO2
- Триоксид урана, UO3
- Ферромагнетики
- Оксид европия, EuO
- Сульфид европия, EuS
- CdCr2Se4
- GaMnAs
- Pb1-xSnxTe легированный Mn2+
- GaAs легированный Mn2+
- ZnO легированный Co2+
- Антиферромагнетики
См. также
- Словарь терминов физики полупроводников
- Полупроводник p-типа
- Полупроводник n-типа
- p-n-переход
- Сверхрешётка
- Гетероструктура
- Полупроводниковые приборы
- Полупроводниковая промышленность
Примечания
- ↑ Н. С. Зефиров (гл. ред.). Химическая энциклопедия. — Москва: Большая Российская Энциклопедия, 1995. — Т. 4. — С. 55. — 20 000 экз. — ISBN 5-85270-092-4.
- ↑ Создан первый в мире алмазный полупроводник, которому не нужно охлаждение: транзистор из алмаза сможет работать при температуре выше 300 °C // Газета.ru - Advanced Science (AdvSci), 27 марта 2024
- ↑ фторид свинца, «периодид» ртути, сулему, «протоксид» сурьмы.
- ↑ Физические величины: справочник/ А. П. Бабичев Н. А. Бабушкина, А. М. Бартковский и др. под ред. И. С. Григорьева, Е. З. Мейлихова. — М.; Энергоатомиздат, 1991. — 1232 с — ISBN 5-283-04013-5
- ↑ 1 2 Индия арсенид // Химическая энциклопедия
Литература
- Тауц Я. Фото- и термоэлектрические явления в полупроводниках. — М.: Издательство иностранной литературы, 1962. — 256 с.
- Тауц Я. Оптические свойства полупроводников. — М.: Мир, 1967. — 74 с.
- Киреев П. С. Физика полупроводников. — М.: Высшая школа, 1975. — 584 с. — 30 000 экз.
- Горелик С. С., Дашевский В. Я. Материаловедение полупроводников и диэлектриков: Учебник для вузов. — М.: МИСИС, 2003. — 480 с. — ISBN 5-87623-018-7.
- Киселёв В. Ф. Поверхностные явления в полупроводниках и диэлектриках. — М.: Наука, 1970. — 399 с. — 7800 экз.
- Анатычук Л. И., Булат Л. П. Полупроводники в экстремальных температурных условиях. — СПб.: Наука, 2001. — 223 с. — 1500 экз.
- Хенней И. Б. Полупроводники. — М.: Иностранная литература, 1962. — 668 с.
- Смит Р. Полупроводники. — М.: Иностранная литература, 1962. — 467 с.
- Жилич А. Г., Монозон Б. С. Магнито- и электропоглощение света в полупроводниках. — Л.: Изд-во ЛГУ, 1984.